方卓是在深夜十一点五十二分落地庐州,继而前往冰芯厂区,到达时已经逼近凌晨一点。
如此匆匆,只因为这边通知了新阳研发实验室的最新消息,由柴庆良领导的一支团队在使用新的聚酯环族丙烯酸酯之后构建出了合适的树脂体系,进而在原有的基础上推出一款ArF光刻胶,经初步测试之后呈现的结果是——可用。
只是初步测试,但简单的两个字格外动人心弦。
“可用”。
任何人都知道易科与冰芯如今的处境,也因此,当方卓接到电话,他就知道敢于在这种情况通知给自己的信息必然极其关键,也必然已经有了相当的把握,只是出于谨慎没有打出百分百的包票。
凌晨一点十五分,方卓见到做出可用光刻胶的研发团队负责人柴庆良,听取他对相关情况的汇报。
柴庆良语速不快,重点谈到新的环族结构对聚合物在耐热性、光学性能等方面的影响,以及,三种配方树脂的相互作用。
方卓对研发人员的汇报特点已经颇为习惯,耐心听完这一通讲述,询问道:“这样的光刻胶应用到生产之中,预计刚开始的良率能达到多少?”
“30%左右。”柴庆良平静的答道。
这样的良率对于一家晶圆制造企业无疑是不合格,是难以提供竞争力的,但是,这已经解决了从无到有的问题。
在座的人都清楚这种突破所能带来的意义。
不过,作为新阳的掌门人,王福翔听到这里还是多说了两句:“这次的光刻胶继续调整配方成分,提高它对波长光的敏感性,降低线宽粗糙度再提高成像质量,相信能在良率上继续获得提升。”
他扭头看向柴庆良,问道:“对吧,我这样说没错吧?”
柴庆良沉吟片刻,慢吞吞的答道:“理论上是这样,但实际工作上的推进也不一定,反正就是做做看。”
王福翔有些无奈,这位柴工就是这样……
实际上,新阳庐州这边同时进行着12款光刻胶树脂的研发,原本是另一个团队比较有希望,但没想到柴庆良这边先有了突破。
柴庆良这人吧,就是蔫蔫的,给人的感觉是“突破了是不错”“没突破就没突破吧”“也许能提高良率”“也许提不了良率”,怎么着都行,没有一点激情。
但是,如今初步测试的结果已出,他这哪里是蔫,分明是能成大事的稳重,是临危不乱的沉着,是在纷扰中坚守本心的笃定,是在挑战面前从容应对的智慧!
王福翔不好反驳功臣的话,眼睛不自觉看向冰芯的资深副总裁阎宗瑞,想让他谈谈情况。
阎宗瑞还没说话,办公室的门忽然被推开,冰芯总裁邱慈云也是匆匆的到了。
方卓起身欢迎,简单寒暄两句就让他坐在旁边一起听。
“现在这个2-8光刻胶还存在不少优化空间,30%的良率肯定是能提高的,方总,因为这个不单是光刻胶的问题,比如,我们可以做光学临近校正OPC,做相移掩模PSM等优化,这些都可以改善光的传播和相互作用,可以优化图案的分辨率和对比度。”阎宗瑞过去一年多时间就负责这一块,不用多想就侃侃而谈,“只是说,最终良率能提升到什么地步,这就不好保证了,50%?60%?”
不管60%还是50%,这和冰芯自身先前的竞争力都天差地别。
邱慈云这时候说了句:“阎总,你就直接说你的结论。”
阎宗瑞略一踌躇,简短的给出代表己方团队的意见:“够用。”
够用!
来自光刻胶研发团队的结论是——可用!
来自冰芯生产线团队的结论是——够用!
就算是良率最终停止在50%、60%,这也够用了!
方卓听到阎宗瑞斩钉截铁的两个字,缓缓的舒了一口气,又与邱慈云对视一眼,随即看向首功的柴庆良:“柴总,你有什么要求?”
你有什么要求?
这是来自易科掌门人、全球有数富豪、易科系缔造者在今天这个凌晨时分给出的话,意思不言而喻,不管有什么要求,都会尽可能的满足,能力范围内如此,超出能力范围恐怕也能竭力争取。
新阳的掌门人王福翔听到这话就是心中一跳,恨不能代替柴庆良回答。
“嗯……”柴庆良用鼻腔发出思考的声音,半晌之后才答道,“以后提可以吗?我得好好想想。”
方卓笑了出来:“行,随时打我电话。”
刘宗宏听到这话,立即把老板的私人号码和易信都推给这位柴工。
方卓收起笑容,再看向新阳的掌门人王福翔,问道:“王总,你有什么要求?”
王福翔立即答道:“方总,都是为国内行业做事,我能有什么要求,无非就是希望咱们上下游都能多发展些,希望大家不要看别人的脸色,这次新阳侥幸有点成绩,我心里由衷的为易科和冰芯高兴,不管易科还是冰芯都是行业的领军者,只要你们好,咱们行业都能跟着好,我们新阳也就自然而然的好了。”
方卓微微点头,略一沉吟:“好,王总,这次要为你们请功。”
邱慈云平复了心情,对副总裁阎宗瑞说道:“阎总,我们这边要做好配合光刻胶优化的工作,良率每提升一个点都是好的,除此之外,接下来还要为10nm的优化做准备。”
包括柴庆良,众人的心里都是一凛,确实,工作还没结束。
方卓再次感谢王福翔与柴庆良,与他们紧紧握手之后亲自送他们出门,等到回到办公室,看到邱总正在大口大口的喝茶。
“可用,够用。”方卓重新落座,双手掩面,声音从指缝里钻出来,“可用,够用,嘿!”
“对易科是够用了,对冰芯还需要很大的优化。”邱慈云用椅背撑住身体,笑道,“但现在是够了,是吧?”
方卓往椅子上一靠,双手用力的在脸上搓动,全身的力气仿佛只够两个字的回答:“够了。”
这是水到渠成的水,迎刃而解的刃!
只要能有产能,还有什么不够的!
办公室里的四个人忽然都不出声,凌晨的寂静就蔓延了进来。
许久之后,方卓撑起来身子,说道:“16nm的光刻胶能解决,10nm的就能一以贯之了?”
“不错。”邱慈云确认了这一点,“我们是用多重曝光技术,这可以在一定程度上避免大幅调整光刻胶的配方来适应更小的工艺节点。”
旁边的阎宗瑞补充道:“光刻胶在10nm还是需要进行一些工作的,因为需要承受额外的曝光和蚀刻,所以要求更高的耐受性和稳定性,而且,为了适应多重曝光更复杂的流程,还需要光刻胶更高的曝光剂量窗口和显影条件,用以保证重复性和良率。”
光刻胶不单单是化学配方的问题,还需要对像底层抗反射涂层、顶层涂层等配套材料进行优化,以及对工艺进行全面的优化。
他知道梁博士在中芯那边做10nm的研发,一旦那边制程突破,接下来就会面临与冰芯这次类似的问题,届时在光刻胶方面还需要更复杂的调整,因为两边的工艺流程还不同。
但是,这些问题虽然难,相较于光刻胶短缺所导致的停产,又是两码事了。
方卓默默点头。
片刻之后感慨的说道:“终究还是磕磕绊绊的要走出来了。”
不管16nm还是10nm,这两种先进工艺都可以保证未来相当一段时间的竞争力,而这段时间又会继续反哺产业链的上下游,让它们继续进步,如此就能让整个体系查缺补漏的运转起来。
只要体系能运转起来,大问题会变成小问题,小问题会变成没问题。
“都快磕死了……”邱慈云深吸一口气,“这特娘的停产停工,我是一夜一夜的睡不着觉!”
方卓忍不住笑道:“我能睡着。”
邱慈云有点碎碎念的说道:“你能睡着啊?易科股票跌没了四五成,你能睡着啊?我干,我就没见过易科这样活生生快跌了2000亿美元的!这蒸发一万多亿华夏币,我都不敢去想……还有美国市场直接没了,员工跟着流失,你怎么能睡得着的?”
冰芯是停产停工,但易科是直接蒸发了十多个冰芯的市值!
全球市场动荡,开启裁员,控制出货,股票燃烧,舆论抨击,还遭受空头围攻,内里又得面对上上下下的压力……
邱慈云不敢想易科那些损失的市值,也不让自己去想方总面临的压力。
但今天,这些可以想一想,可以拿出来聊一聊。
“哈哈哈哈哈。”
方卓放声大笑。
邱慈云看向刘宗宏:“快看看你老板是不是疯了!”
“我就是能睡得着。”方卓“嘿”了一声,手撑在桌子上,站起来在办公室里走了两步,“能奈我何?嘿,能奈我何?”
邱慈云知道这两句怕不是对自己说的了。
他又倒了一杯茶,仿佛这样能浇一浇心里涌动的燥热,说道:“从0到1很难,但从1往上走就简单多了,冰芯这盘棋是有解了。”
刘宗宏这时说了句:“就像是围棋里的‘一子解双征’!”
邱慈云惊讶道:“小刘还懂围棋?”
“嘿嘿,不懂,就是前阵子AI围棋挺火,我跟着关注了下,当时听到的。”刘宗宏笑道。
一子解双征就是一手棋落在棋盘,可以同时解除两块棋被征吃之忧。
邱慈云叹道:“不错,一子解双征,牵一发而动全身,一子落而满盘活!”
方卓听着这两人的对话,推开办公室的窗户,吹到外面的凉风,看到沉沉的黑夜,仍觉太阳穴突突直跳。
邱慈云见他半天不出声,走到旁边,问道:“在想什么?接下来的工作就明朗了。”
方卓这会的脑海里已经闪过许多画面,有当年率领考察团来庐州时同样美的夜色,有与邱慈云在美国码头看机器装船后离开的浪花,有拜访胡正明时的薪火相传,有邀请梁孟淞时为他倒的酒,有为张汝京送别时的意难平,有与江上洲最后见面时的不惭世上英……
“我在想什么?”方卓思绪放空的喃喃重复了一句,忽然心绪一凝,呲牙一笑,“嘿,我在想,杀尽江南百万兵,腰间宝剑血犹腥!”
……
方卓这一夜只囫囵睡了个觉,而邱慈云彻夜难眠。
等到上午,邱慈云反而睡着了。
工作不是一时就能做完的,光刻胶需要根据初步测试结果再进行配方与制备工艺的调整优化,后续还需要迭代测试,以求改进它的性能,确保达到16nm工艺的要求。
冰芯从来都拿不到理论上的最优解,只能拿到现阶段的最优解。
但是也够了。
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